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低噪声电容式MEMS加速度计接口专用集成电路设计.pdfVIP

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  • 2017-09-20 发布于北京
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低噪声电容式MEMS加速度计接口专用集成电路设计.pdf

    第8卷第2期 纳米技术与精密工程 V01．8No．2 2010年3月 andPrecision Mar．2010 NanotechnologyEngineering InterfaceASICof MEMSAccelerometer LowNoise Capacitive LIU Yun—ta01．-，LIUXiao—weil”，CHEN Lian91，WUQunl Wei．pin91”，YIN Instituteof (1．MEMSCenter，HarbinTechnology，Harbin150001，China；

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