超音波振動輔助加工於玻璃材料加工研究.pdfVIP

工程科技與教育學刊 第七卷 第一期 民國九十九年三月 第64~74 頁 超音波振動輔助加工於玻璃材料加工研究 1 1 2 2 楊忠義 、許富銓 、蕭美技 、李正雄 1.金屬工業研究發展中心 精微成形研發處模具組 2.金國立高雄應用科技大學 模具系 E-mail : zyyang@mail.mirdc.org.tw 摘 要 在國內，超音波振動技術被廣泛的應用於塑膠熔接製程及清洗製程，但亦有許多研究提出將其應用於 機械加工製程上。相關超音波輔助機械加工研究與探討文獻中顯示，不論於加工表面粗糙度的提升、加工 應力的降低、刀具壽命的提升和切削溫度的降低上，超音波引入輔助機械加工都具有正向性協助及具有提 升加工特性的功能。而超音波研削則應用於高硬脆性非導體材料或碳化鎢銑削加工，結合超音波的高頻振 動與燒結鑽石刀具以高速旋轉研削的方式進行加工，加工之表面即為研磨面，除了省掉後處理製程的成本， 加工時間亦可大幅降低，減少製程程序。但因超音波輔助加工是在現有的加工製程中加入高頻低振幅的振 動（施於刀具或是工件上），由於其振動機制的加入，大幅提升了原製程之加工變數，使得在操作者的使用 上難以快速入門，或是需相當有經驗的人員進行操作。本研究擬以車削機制，模擬建構出超音波輔助振動 單刃切削之數學模型，藉由理論的推導探討出在超音波振動車削過程中，刀具與工作之間作用狀況以及其 瞬時切削過程之加工速度分析。 關鍵詞：超音波振動加工 1. 前 言 超音波加工最早在 1950 年被提出，主要針對超硬材料的加工（如氧化鋁、氧化鋯、藍寶石、矽、石英、 鎢、…、等等）。早期所建構之超音波加工結構是由一受靜負載之工具，在工具上施以超音波（20~40kHz ） 高頻振動，工具和工件接觸面上通具有高硬度磨料之研磨液，藉由工具帶動磨料衝擊工件表面，使加工面 產生裂紋，持續作用後裂紋會成長而使材料剝落達到除料的效果。然而，隨著科技的發展 ，硬脆材料的應 用越來越廣泛（如電漿設備中之矽盤、石英擴散盤等），工件複雜度 、加工深度及加工精度等等都一直在提 升，傳統式懸浮磨料的方式由於加工過程中磨料難以進入工件與工具之間，加工效降低，懸浮磨料的流動 更使得加工精度難以控制而漸漸不敷使用。 旋轉超音波加工（Rotary Ultrasonic Machining RUM ）是以傳統超音波加工為基礎所發展出來的，其主 要的差異是在於將原本懸浮流動的磨料（大多為鑽石粉未）固定在一工具上，將鑽石優良的切削性能與超 音波加工的特性結合，突破傳統超音波加工精密加工的能力。圖 1 中所示即是一RUM 之示意圖，將具有 鑽石粉未的工具結合三軸向可程式控制平台，來進行各式精研磨加工。 ©2010 National Kaohsiung University of Applied Sciences, ISSN 1813-3851 超音波振動輔助加工於玻璃材料加工研究 65 圖1 固定鑽石磨料之超音波加工示意圖【3 】 文獻研究顯示，超音波輔助機械研磨/加工不僅可以使切削溫度降低、高頻振動使刀具具有自我清潔及 提升加工精度的效果，更因刀具高頻且微量的衝擊工件表面使得加工面產生微量極淺層豐加工硬化區，並 於每次切削時去除。因此不論是於加工表面粗糙度、加工應力及切削溫度的降低或刀具壽命的提升，超音 波振動的引入都具有正向性的協助。如Isobe 等[1]以#100 電鑄鑽石磨棒實驗在4000rpm 及60kHz 高頻振動 下對NAK80 材料進行研磨加工，並加工出 Rz0.14μm 之研磨表面。Pei 等[2]亦實驗證明了超音波加工可降 低加工應力，提升 MRR 值並適合於陶瓷材料之加工。Zeng 等[3]亦以旋轉式超音波研磨加工進行實驗，證 明超音波輔助研磨加工具有低刀具磨耗、高 MRR 及高加工