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EDS分析技术及技巧 焦汇胜 牛津仪器 · 纳米分析部 大 纲 能谱的工作原理 能谱技术的最新进展 能谱分析中需要注意的问题探讨 INCA软件使用技巧 高能电子与样品的相互作用 高能电子束与样品的作用：电压变化 高能电子束与样品的作用：成份变化 X-射线的产生：特征X射线的产生 特征X射线谱 Moseley定律 X射线的产生：连续谱与本底 工作原理 低kV，低束流的高计数率 Size – it Matters! 多层膜的面分析 纳米颗粒的分析 X-MAX 80 TEM EDS定量结果的误差 新型EDS分析误差 新型EDS对中等原子序数的主元素、无重叠峰的定量相对误差约为2％或更小。如果试样中元素含量50％，则误差约为?1％（ 49.0－51.0 wt%)。 准确定量一般指有标样定量。 新型EDS分析误差 EDS vs WDS EDS探测限：如何提高探测极限 探测限 detection limit ： 0.1%－0.5 % 与仪器性能、分析条件（V，t，I）及试样中所含元素种类等因素有关。 一般认为，材料中某元素的X射线强度N等于背底标准偏差的3倍时，即N＝ 3× σ ，该元素肯定存在，其置信度为99.7%。 σ为背底的統計涨落 原子序数增加，特征X射线的荧光产额增加 如果试样中含有一个不能检测的轻元素. 该元素的含量可以