材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象X.pdfVIP

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  • 2017-09-13 发布于重庆
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材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象X.pdf

( ) Journal of Mechanical Strength 机械强度 2001 ,23 4 :511~515 材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象 MATERIAL S WEAR AND WEAR IN MICROEL ECTROMECHANICAL SYSTEMS 1 ,2 1 1 1

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