双驱动三自由度混合平台的精密运动控制外文文献翻译中文译文.doc

发表在IET控制理论与应用收到2007年2月16 2007年7月24日修订：10.1049 /英国工程技术学会-ctaI SSN 1751-8644 双驱动三自由度混合平台的精密运动控制 华园区 韩国水原市灵通区京畿道事业部开发组办公室416室 邮箱：ym-park@kaist.ac.kr 摘要：作者介绍了一种三自由度精密混合工作台，这种工作台使用共焦扫描显微镜通过移动和调整对象来测量它的三维图像。混合工作台由两个独立操作工作台组成，即粗动台和微动台。粗动台由三个直线电机驱动，产生运动对象的初始运动位移。另一方面，微动台由四个音圈电机驱动，产生最终的亚微米级精度的调节。精密运动控制器是混合平台控制的必要配件。精密运动控制器由以下五个部分组成：位置和速度控制回路，消除控制器出现饱和问题的抗饱和补偿器，合适功率的发电机，确定微动台确切位置的精密定位，观测和补偿微动台扰动的扰动观测器。精密运动控制器的性能由硬件配置的实验来测评。 1、介绍 纳米级精密运动控制用高带宽提供精密位置的稳定性，是工业和科学应用尤其是包括光刻技术和集成电路模式[1-3]，高密度磁性数据存储设备的制造和操作[4-7]上一个非常重要的问题。 一般情况下，传统工作台在设计操作上注重一些运动约束，为了执行多自由度工作台，这些用机械零件装配的运动约束需要复合。这些运动约束会产生接触摩擦和误差积累[9]，因此，很难用高宽带实现高性能运动控制系统以及纳米级稳定性大行程的精密多自由度工作台。 只使用粗定位驱动器如直线电机或液压执行机构的工作台，在低速运动和高频运动共振模式中会产生非线性摩擦。因此，只使用可以提供大行程的粗定位驱动器难以得到精密运动控制性能。克服这种局限性的方法之一是采用微驱动器，如压电驱动器或音圈电机（VCM）。但是，微驱动器的行程是大约是几百米微米到几毫米，这也是它的局限。因此，如果用粗定位驱动器和微驱动器设计一个混合驱动系统，就可以利用它们的优势并相互补偿它们的缺点。到目前为止，已经有一些混合驱动系统设计的研究。例如，超精密双伺服系统已被提出[1-3]代替光刻步进电机。为获得高伺服带宽和执行干扰抑制，由音圈电机和微驱动器组成的双级驱动系统已经在研制[10，11]。一种旨在实现硬盘驱动器双级系统的低驼峰灵敏度功能的新型控制设计正在研究[4]。需要注意的是，根据文献[4]，具有低驼峰灵敏度功能的伺服控制系统，能够减小一个系统中干扰的作用。双级硬盘驱动器系统的基本控制设计在[5-7]已经被提出，并且双级伺服系统的性能增强方法也已经被提出在[12，13]。 本文提出了一个使用共焦扫描显微镜通过移动和调整对象来测量它的三维图像的三自由度精密混合工作台。由于其精密的分辨率和三维表面分析能力，共焦扫描显微镜可以观察到亚微米级尺寸的材料。混合工作台包含两个独立操作x-y-θ工作台，即粗动台和微动台。粗动台由三个直线电机驱动，微动台由四个音圈电机驱动。粗动台和微动台不是机械地相互联系，可以独立控制。 为了说明控制混合工作台，笔者在本文提出了精密运动控制器。精密运动控制器由位置和速度控制回路，消除控制器出现饱和问题的抗饱和补偿器，合适功率的发电机，确定微动台确切位置的精密定位，观测和补偿微动平台扰动的扰动观测器组成。需要注意的是，在本文中，微动台的确切位置是微动台中心的位置，并且由微动台的方向角精确测定。精密运动控制器的性能通过实验进行评估。 本文的其余部分安排如下：第2节中，描述混合工作台的系统概述。在第3节中，提出混合工作台的控制方法。在第4节中，给出混合工作台运动控制的实验结果。最后，在第5节中给出一些结论性意见。 2、混合工作台的描述 2.1 混合工作台概述 首先，给出混合工作台的概述。图1显示的是本文中的混合工作台的示意图。混合工作台使用共焦扫描显微镜通过移动和调整对象来测量它的三维图像。共焦扫描显微镜拥有光学层析能力，并能产生三维表面轮廓。共焦扫描显微镜的测量原理是基于从物镜焦点反射的一束光线成像，而所有漫反射光通过针孔被过滤掉的事实。这创建了一个所有对象点的集中二维图像，这些点在扫描过程中位于焦平面内，类似地图的等高线。用自动变焦平面扫描整个样品产生高分辨率和扩大相应表面部分的图像。共焦扫描显微镜的垂直和水平分辨率为分别为和。 混合工作台由两个独立操作工作台组成，即粗动台和微动台。粗动台产生对象初始位移，微动台提供对象最后调整位移。由于分辨率为的激光干涉仪在微动台中作为位置传感器使用，精密控制对象最终的调整成为可能。空气轴承支承混合工作台的运动部件使他们可以无机械接触地浮动在底座上。底座材料是花岗岩，底座用隔离器相连接，可