LIGA工艺的发展及应用28303.pdfVIP

!!# 器件与技术 !!# $%’(% ) *%(+,-.-/0 !#$ 工艺的发展及应用 ! ! 孔祥东 张玉林 宋会英 ! # 山东大学控制科学与工程学院电子束研究所 山东 济南 MBNN$2 ! ! $ 摘要 介绍了./01 ,FO(DH)5P(F+ H5,E5GD*D)C9GH 5G- 5Q*D)C9GH 技术以及在此基础上开发出来 的准 %