PET塑料衬底上柔性硅基薄膜电池研究论文.pdfVIP

；i青r ’ii…-4 薄膜硅太阳电池及书tgt-．313． PET塑料衬底上柔性硅基薄膜电池研究 倪牮。，薛俊明，赵鹏，袁育杰，张建军，侯国付，孙建，赵颖，耿新华 (南开大学光电子薄膜器件与技术研究所；南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室； 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300071) 摘 要 研究了低温条件下硅烷浓度对本征层材料及电池性能的影响，在125C的低温条件下，在玻璃衬底上制备出 效率达到6．8％的单结非晶硅电池；在PET塑料衬底上，制备出效率达到4．8％的单结非晶硅电池。采用梯度 氢稀释的方法。使微晶硅底电池本征层的纵向均匀性得到优化，在PET衬底上，制备出初始效率为6．O％的 非晶，微晶硅叠层电池。 关键字 低温沉积；硅薄膜太阳电池；柔性衬底；PET 1引 言 在塑料衬底上低温制备硅薄膜电池，是进一步降低太阳电池成本的有效途径。PET塑料…成本低廉，机械 性能优良，透过率高，具备作为太阳电池衬底的潜力。但PET耐温性较差，降低硅薄膜电