狭缝波导硅基微环生物传感器特性分析.pdfVIP

2014芷 仪 表 技 术 与 传 感 器 2Ol4 第 1期 Instrument Technique and Sensor No．1 狭缝波导硅基微环生物传感器特性分析 高 亮，王卓然，袁国慧，王 维，林志远 (电子科技大学光电信息学院 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都 610054) 摘要：研究了一种基于绝缘体上硅片(SOI)的半径为5 m的狭缝波导微环无标记生物传感器，其检测原理是利用了 周围的环境发生变化导致传感器输出端口的响应曲线的谐振峰位置发生漂移这一特性。基于时域有限差分法(FDTD)对 器件几何参数优化和传感特性分析，结果表明，在微环谐振腔的耦合长度为3 m、耦合间距为80nm、侧 向失配量为 一5 nm、非对称系数为0．5时，传感器的灵敏度大小可迭594nm／RIU，相对于传统微环传感器的灵敏度提高了8倍以上，相应 的自由