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沉积压力对磁控溅射Mg薄膜结构的影响.pdfVIP

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  • 2017-08-18 发布于辽宁
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沉积压力对磁控溅射Mg薄膜结构的影响.pdf

    11 2 材 料 与 冶 金 学 报 Vol. 11 No. 2 第 卷第 期 2012 6 Journal of Materials and Metallurgy June 2012 年 月 沉积压力对磁控溅射Mg 薄膜结构的影响 ， ， 毛飞雄 刘 涛 于景坤 ( ， 110819) 东北大学 材料与冶金学院 沈阳 : Mg ， XRD SEM 摘 要 采用直流磁控溅射方法在氧化锆固体电解质表面制备了 金属薄膜 利用 和 研究了沉

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