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采用PZT薄膜的射频滤波器研究 刘燕翔任天令刘理天 (清华人学微电子研究所，北京，10084) 摘要：微机械加JJ技术是提高射频通信前端器件性能、缩小其体积的有效方法。文中 介绍了应用MEMS(微电子机械系统)技术的体声波射频滤波器的原理、结构，分析了 PzT的材料特性，优化了硅基薄膜的制备、退火、刻蚀等集成工艺，并在此基础上设计了 以该材料为核心的射频滤波器，模拟了该器件的性能。 关键词：射频滤波器；谐振器；徽电子机械系统；锆钛酸铅 1引言 当前，随着卫星、蜂窝电话等无线通信技术的迅速发展，以往的主流通信频段日益拥 挤，人们越来越关注更高频率的通信应用。射频(800MHz～4GHz)通信相对较低频段通 信有着带宽更大、数据传输更快的优势。在GHz通信系统中，前置滤波器是系统提高信噪 比、减少功耗的关键环节。最近美国麻省理工学院微系统实验室研制了以A1N压电薄膜实 现电、卢耦合的体声波(SAW)滤波器…，其插损低、带宽大、面积小的优良性能代表了未 来射频滤波器的发展趋势。 PZT材料有着优良的压电、铁电特性，具备突出的力、电耦台能力。近年来，随着 PZT薄膜制备技术的发展，A．1『f