双端固支梁MEMS谐振器的建模和仿真.pdfVIP

蒋俊文 鲍景富 杜亦佳 邓成：双端固支梁 MEMS 谐振器的建模与仿真 双端固支梁MEMS谐振器的建模与仿真 蒋俊文 鲍景富 杜亦佳 邓成 （电子科技大学电子工程学院 四川成都 611731 ） 摘 要：本文提出了一种新的双端固支梁 MEMS 谐振器电器等效模型的建立方法.与传统的首 先计算梁等效质量的方法不同，它首先计算等效弹性系数。我们首先对传统的建模方法进行了阐述， 接着介绍新的建模方法，最后对一个特定尺寸的固支梁谐振器用两种方法进行建模并利用 ADS 仿 真。 关键词：谐振器; 建模; 等效弹性系数 中图分类号： Modeling And Simulating Of Double-Clumped MEMS Resonator