热阴极DCPCVD方法制备的金刚石厚膜的生长特性和内应力.pdfVIP

第 卷 第 期 新 型 炭 材 料 $’ $ ?@ , $’ 1? , $ !% 年 % 月 123 456781 95:26;5= 9AB , !% 文章编号： （ ） $-#’’!- !% $#*#) 热阴极-.#/.0- 方法制备的金刚石厚膜的 生长特性和内应力 $ $ $ ! 金曾孙 ， 姜志刚 ， 胡 航 ， 曹庆忠 （ 吉林大学 超硬材料国家重点实验室，吉林 长春 ； 河南黄河实业集团股份有限公司，河南 长葛 ） $,