阴极电沉积法制备ZnO薄膜.pdfVIP

第34卷第24期 山 西 建 筑 Vd．34No．24 2OO8年8月 SHANXI A岖．2008·177· ARCHllEClrI瓜E 文章编号：1009—6825(2008)24．0177．02 阴极电沉积法制备ZnO薄膜 蔡少敏 摘要：采用阴极电沉积方法，以含锌盐的水溶液作为电解液，分别在不锈钢和17m导电玻璃衬底上制备了舀】O薄膜样 品，用X射线衍射对样品进行了表征，研究了电势、电流密度、锌盐种类和浓度以及衬底等因素对薄膜质量和组成的影响。 关键词：阴极电沉积，制备，Zno，薄膜 中图分类号：TU502 文献标识码：A 1概述 本实验的Ⅺm测试使用Y一4Q型x射线衍射仪，cuKdl靶