硅微陀螺正交校正结构设计与试验.pdfVIP

第４３卷第６期 东南大学学报（自然科学版） Ｖｏｌ．４３ Ｎｏ．６ 　 ２０１３年１１ 月 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＳＯＵＴＨＥＡＳＴ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ （Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｅｄｉｔｉｏｎ） 　 Ｎｏｖ．２０１３ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１ －０５０５．２０１３．０６．０１８ 硅微陀螺正交校正结构设计与试验 倪云舫　 李宏生　 黄丽斌　 赵立业 （东南大学仪器科学与工程学院，南京２１００９６） （东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，南京２１００９６） 摘要：为从源头上消除硅微陀螺的正交误差，采用静电修调方法，研究正交校正结构设计问题． 在分析静电修调原理的基础上，探讨校正电极设计原则以及结构形式的选取，设计布局方案消除 干扰静电力，并通过参数优化提高校正结构的面积利用效率．为自主研制的某型双质量硅微陀螺 设计正交校