- 1、本文档共71页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
摘要
摘 要
氧化锌是一种II.Ⅺ族宽禁带隙(3.30eV)氧化物半导体材料。具有较大的激
子束缚能(~60meV),可以实现室温下的紫外受激辐射,是一种很有前途的紫外
光电子器件材料,极具开发和应用价值,特别是ZnO薄膜紫外激射的发现,使
它成为国内外在半导体材料研究中的新热点。传统上,ZnO薄膜被广泛应用于声
表面波器件、体声波器件、气敏传感器、压敏电阻、透明电极、紫外探测器等领
域。近年来,ZnO作为宽禁带半导体光电材料的研究越来越受到人们的重视。ZnO
薄膜有许多优点,如生长温度低,介电常数低,机电耦合系数大,温度稳定性好,
光透过率高,受激辐射阂值低,化学性能稳定等。由于znO单晶生长困难、价
格昂贵、尺寸小(仅有1锄3大小的单晶),难以满足各种应用的需要,因此对各
种ZnO薄膜制备技术的研究和开发成为ZnO材料及器件应用研究的一个重要方
向。目前,比较好的成膜技术有分子束外延(MBE)和脉冲激光沉积法(PLD)。但成
本太高,不能实现大面积成膜。
研究了升温速率、薄膜厚度、退火温度等工艺参数对薄膜的结晶质量和发光性能
的影响。取得了一些有意义的结果。主要内容如下:
1、采用溶胶一凝胶工艺使用不同的有机试剂在玻璃衬底上制备了ZnO薄膜,x
射线衍射仪(XRD)结果表明,ZnO薄膜均为纤锌矿结构。但是使用乙二醇甲醚
制备的ZnO薄膜呈现自由生长的特点;相反,使用聚乙烯纯所制备的ZnO薄膜
则具有C柱择优取向生长的特性。
2、室温下样品光致发光光谱的测量结果表明,所有的样品均有两个发射带,即近
带边紫外发射和可见发射带。随退火温度的升高,样品的紫外发射带增强,可见
光发射逐渐减弱,当退火温度升为600C时,紫外发射最尖锐,几乎观察不到可
见光发射。
nlrl
3、测量生长在玻璃基底上的氧化锌薄膜的吸收光谱,结果表明:样品在380
eV。ZnO薄膜透射光谱的测量
附近有一陡峭的吸收边,所对应的能量值为3.20
结果表明:样品在可见光波段的平均透过率为85%。
0.71合金薄膜。XRD衍射测试表明:在O.1x0.3范围内,合金薄膜仍然保持
溶胶-凝胶法制备Zn,HM蠡。薄膜及其性能研究
氧化锌六角型纤锌矿结构,(002)衍射峰位随x的增大向大角度方向移动,在X
/0.3的范围内,合金薄膜的结构则为氧化锌和氧化镁的混合结构;室温光致发光
谱表明:ZnMgO合金薄膜PL谱都是由较强的紫外发射带组成,且随着Mg含量
的增加紫外发射峰位发生蓝移,同时可见发射增强。
关键词:znl一,MgxO薄膜;溶胶-凝胶法:晶体结构;光致发光:吸收光谱:透射
光谱
II
Abstract
oxideis U—V1
Zinc wideband material.
anew-styled gap(3.30eV)semiconductor
Ithas exciton callbeexcitedtoemit
comparativelylarge bindingenergy(60meV)and
at
ultraviolettheroom isa of
kind
by temperature.Therefore,ZnOverypromising
materialfor the devicesand deserves
makingultravioletoptoelectronicgreatly being
您可能关注的文档
最近下载
- 广告设计师考精彩试题库(理论包过).pdf
- 四川大学2021-2022学年第1学期《环境监测》期末考试试卷(B卷)及标准答案.docx
- 新湘文艺版高中音乐必修“歌唱”第四单元第一课《轮唱——〈山坡上的野菊花〉》说课稿.doc
- 中国戏曲剧种鉴赏 知到智慧树网课答案.pdf
- 电力拖动自动控制系统运动控制系统(阮毅陈伯时)课后思考题习题答案章完整版.docx
- 2020年北京汇文中学新初一分班考试数学试题.pdf
- 建筑施工企业组织机构图.doc
- 弱电维保服务投标方案(技术标).docx
- 第三届全国仪器仪表行业职业技能竞赛数字孪生应用技术员S(测量与控制系统装调技术方向)赛项实操样题.docx VIP
- 红色故事我来讲活动方案.doc VIP
文档评论(0)