《光学薄膜测试技术_贺洪波》.pdf

光学薄膜测试技术 （大纲） 前 言 第一章 光谱检测及光学常数拟合 第二章 光学损耗测试-吸收与散射 第三章 激光损伤特性检测 第四章 力学特性检测 第五章 表面形貌检测 第六章 微观结构与组份分析 1 光谱检测及光学常数拟合 光谱检测 常规光谱（透、反射率） 非常规测量（超高反射、大口径… ） 光学常数拟合 椭偏法 受抑全内反射方法 光谱法 波导法 阿贝法 联合测试 2 1 薄膜透射率和反射率的测量 T ＆R：光学薄膜最基本的光学特性 光谱测试分析方法 分光光度计 （光谱分光原理） 测试波段：紫外－可见－近红外、红外 最常用：单色仪型分光光度计 傅里叶红外光谱仪（基于干涉原理） 迈克尔逊干涉仪 特殊要求：如大口径；带角度反射率测试等 3 傅里叶变换红外光谱仪 应用迈克尔逊干涉仪对不同波长的光信号 进行频率调制，在频率域内记录干涉强度 随光程差改变的完全干涉图信号，并对此 干涉图进行傅里叶逆变换，得到被测光的 红外光谱图（波数为单位） 干涉图是光谱的傅里叶变换 对其进行傅里叶逆变换即恢复成光谱 4 2 分光光度计 基于光谱分光原理 单光路 5 分光光度计 基于光谱分光原理 双光路 6 3 透射率测量 在透射测量时，仪器测量的是通过样品光路到达 检测器的光强P与通过参比光路到达检测器的光 强P0 的比值，称之为透射率T 光路校准 测量 P 0 P 7 反射率测量 相对反射率测量 简单方便 关键：找到满足测量要 求的参考样品 适于低反射率测量