磁控溅射法制备薄膜及其超疏水表面改性研究.pdfVIP

硕士论文 磁控溅射法制备铜薄膜及其超疏水表面改性研究 一甥嬲 润湿性是大自然中存在的固有特性，对人们的生活和生产具有重要影响。超疏水材 料因为其自清洁性能、防腐蚀性能越来越得到人们的广泛关注。目前，制备超疏水铜表 面的方法有很多种，但利用磁控溅射法来制备超疏水铜表面的研究几乎未见报道。 利用磁控溅射法在玻璃基底上制备Cu薄膜，研究溅射时间、溅射功率和溅射压强 对Cu薄膜润湿性能、结构和形貌的影响。结果表明，溅射工艺参数的变化对Cu薄膜 的结构、形貌、润湿性能和粗糙度产生显著影响。同时，采用磁控溅射法在陶瓷、玻璃 和石英基底上制备Cu薄膜，结果发现不同材质和粗糙度的基底上制备的Cu薄膜其润 湿性能不同。 在铜片上自组装正十二硫醇单分子膜(SAMs)，研究SAMs对铜片的润湿性能影响， 结果表明正十二硫醇在铜片表面自组装后铜片表面接触角从770变为117。。此外，对铜 片预处理后再自组装正十二硫醇单分子膜，SAMs／铜片疏水性能更好。 以磁控溅射法制备的Cu薄膜为基板，自组装正十二硫醇单分子膜，研究溅射工艺 和基底材质对SAMs／Cu薄膜表面的润湿性能影响。结果表明，溅射工艺的变化对 质影响