高分辩电子显微学简介-大工课件.pptVIP

高分辩电子显微学简介 何战兵大连理工大学材料系中科院物理所电子显微镜国家重点实验室 前言 1、基本原理 2、操作方法 3、具体应用 4、发展前景 前言 目的和作用： 在单胞甚至原子间距的水平上检验晶体，非晶体材料的结构。 将在物样势场作用下电子波的相位变化转化为可观察到的像强度分布;如何从获得的相位衬度---高分辩像上提取物样真实结构信息。 国内外常用高分辨电子显微镜 1、基本原理 （1）、电子显微镜成像 （2）、 Abbe成像原理 （3）、相位衬度 （4）、弱相位体及Scherzer欠焦 电子显微镜成像：线性传递过程（薛定鄂方程和波迭加原理） （1），聚光镜以及聚光镜光阑将电子光源产生的电子束进行调整，使电子束以适当的孔径角照射到试样上，入射电子波与试样产生交互作用，在试样出射面得到得到电子波的复振幅分布，它携带着试样内部的结构信息。 （2），试样出射面处得到的电子波的复振幅分布通过电子显微镜成像系统来成像。 阿贝成像原理：光学上，平行光照到一个光栅（周期物样）上产生各级衍射，在透镜的后焦面得到各级衍射极大分布；这些衍射极大又作为次级波波源，产生的次级波在高斯像面上发生干涉叠加，得到光栅的真实像。 成像模式 质厚衬度：像衬度反映试样不同区域散射强度的差异。-----振幅衬度 衍射衬度：反映晶体试样不同区域满足布拉格衍射条件的程度差异。-------