chap9_透射电子显微镜汇编.ppt

第九章 透射电子显微镜 通常透射电镜由电子光学系统、电源系统、真空系统、循环冷却系统和操作控制系统组成． 其中电子光学系统是电镜的主要组成部分，通常称为镜筒． 高压系统 真空系统 操作控制系统 观察和记录系统 光学显微镜与透射电镜的比较 TEM成像系统可以实现两种成像操作：一种是将物镜的像放大成像，即试样形貌观察；另一种是将物镜背焦面的衍射花样放大成像，即电子衍射分析。 TEM成像系统中的物镜是显微镜的核心，它的分辨率就是显微镜的分辨率。 位错 Electron-Specimen Interaction Operation Modes Morphological, structural and elemental information can be obtained in different operation modes of TEM, which respectively are: Imaging Mode Diffraction Mode Spectrum Mode Ray Path in TEM Column 3 . 供电系统 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分， 二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。 所以，对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和 各透镜的激磁电流。