朱彦斌ALDAl2O3表面钝化性能及电池制备工艺研究.pptxVIP

ALD-Al2O3表面钝化性能及电池制备工艺研究 报告人：朱彦斌中山大学太阳能系统研究所主要内容一、研究背景二、ALD-Al2O3钝化性能研究三、电池制备工艺探讨四、结论及展望硅片减薄一、研究背景太阳电池成本控制350μm270μm240μm200μm180μm….160μm….?成本降低效率硅片厚度硅片厚度降低带来的影响1）背面复合增加2）长波光吸收降低3）电池片翘曲增加 电池效率与硅片厚度及背面复合速率关系Armin G.Aberle. Surface passivation of crystalline silicon solar cells: A review. Prog.Photovolt:Res.Appl,2000;8:473-487.电池效率与硅片厚度及背反射率的关系怎样解决以上问题？二、ALD-Al2O3钝化性能研究1.ALD-Al2O3起始状态Al(CH3)3 化学吸附净化净化H2O化学吸附B. Hoex, M.C.M. van de Sanden, and W.M.M. Kessels Plasma Materials Processing, Department of Applied Physics Eindhoven University of Technology (TU/e)2.ALD-Al2O3的特点：沉积温度低，200~400℃薄膜厚度易控制，精确