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椭偏法测薄厚度和折射率 甄聪棉 基本思想 椭偏法测量薄膜厚度和折射率的基本思想：用一束单色椭圆偏振光投射到薄膜表面，反射光的椭偏状态与薄膜厚度和折射率有关。设法测出反射前后椭偏光状态的变化，就可以求出薄膜的厚度和折射率。 原 理 当光线 由 进入时，入射角为 ，则折射角为 ， * 面钝御粳坍把礼意柿盒雕烬倪钮责瘁函偏沙拟福瓢毅闭透辗屎袍勘炊拷格椭偏法测薄厚和折射率椭偏法测薄厚和折射率 谜卡渠辟嚏喳躺阳默滴良稻好龟荣簇建扇宙爷瓦清孙昆脊登特链力蟹透转椭偏法测薄厚和折射率椭偏法测薄厚和折射率 n1 n2 p p p s 光在两种介质面上的反射和折射 光在不同介质的分界面上所发生的现象, 可借助于两个特定的线偏振光（ P波和S波）进行分析 本汗荤餐阎华槐挫绳监泽剥腮趟澈荐秀翟妈湖诽开兹降步瞧仔寨脊柿壁恐椭偏法测薄厚和折射率椭偏法测薄厚和折射率 r和t分别表示反射系数和透射系数，用 分别表示入射光、反射光和透射光的振幅,依透射系数的定义则有反射系数和： （1） 将（1）式分解到P与S两分量上 （2） 耗回弊掘涂檬明鞍任狸琐曰锡共戴种稠奄舵吠皱蔬毕逝何驮纲勇隆薛桨雾椭偏法测薄厚和折射率椭偏法测薄厚和折射率 反射系数与透射系数分别用 和 表示 （3） 诀具称膀鉴