偏置电压对犆狉犆狉犃犾荦多层涂层的摩擦学性能及残余应.PDFVIP

第２６卷 第３期 中　国　表　面　工　程 Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．３ ２０１３年６月 ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｊｕｎｅ ２０１３ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００７ ９２８９．２０１３．０３．００１ 偏置电压对 犆狉／犆狉犃犾犖 多层涂层的摩擦学性能 及残余应力的影响 （德）沃尔夫冈·铁尔曼，（德）托比亚斯·斯布德，（德）法比安·霍夫曼， （德）乌苏拉·塞瓦杜拉，（德）莱纳·齐勒克 （多特蒙德工业大学 材料工程学院，德国 多特蒙德 ４４２２７） 摘　要：为了解工艺对多层???层性能的影响，针对偏置电压对涂层中