新型大位移低驱动力之梳状式静电致动器设计与应用-高雄第一科技大学.ppt

新型大位移低驅動力之梳狀式靜電致動器設計與應用 報告人：陳垠余 指導教授：郭文正 博士　 數位化模具技術論文發表會 MEMS 國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系 大綱 前言 實驗內容 量測 結論 MEMS MEMS 前言 早期靜電致動器是由兩平行電板所組成，利用平行板電容間的靜電力來驅動，但其在位移上受到很大的限制，且位移與電壓為非線性關係，因此在控制上較為困難。 梳狀式靜電致動器的發明，有效增加其位移量，改善了位移上的缺點，所產生的位移也與輸入電壓呈現線性關係。 圖1 平行電容板示意圖 圖2 梳狀致動器之基本結構 前言 除了輸入的電壓之外，懸掛支撐機構之彈簧係數大小也會影響位移量的變化。現有的梳狀式靜電致動器大多以矽材質為主，若應用於大位移上，矽之較大楊氏係數便會需要更大之驅動力。因此，利用較軟之結構材質取代矽即為本研究之主要考量。 本研究使用聚對二甲苯(簡稱為Parylene，其楊氏係數約為2~5 GPa)用於靜電致動器之支撐機構中。使用Parylene材質有三種優點；第一，較低之楊氏係數；第二，為一延性材料，可允許較大之彈性變形；第三，熱膨脹係數僅約為SU-8或其他polymide之30 % MEMS 實驗內容 梳狀式靜電致動器原理 指電極在y方向所產生之 靜電力： 其中： 為真空中之介電係數 　 為施加電壓 　 為電極之寬度 　 為電極間之間隙 圖3 梳狀致動器之作動原理 MEMS 實驗內容 梳狀式靜電致動器原理 y軸方向之彈簧係數(ky) a = Wbeam 靜電致動器之位移(D) 圖4 折疊式撓性機構之梳狀式靜電致動器示意圖 MEMS 實驗內容 梳狀式靜電致動器之設計 圖5 矽材質與Parylene材質之靜電致動器示意圖 MEMS 實驗內容 高深寬比Parylene結構之製作 (a) 第一次沉積Parylene於溝槽內 (b) 移除頂部Parylene (c) 第二次沉積Parylene於溝槽內 圖7 高深寬比Parylene結構之製作步驟 MEMS MEMS 實驗內容 實驗製程步驟 圖8 結合Parylene材質之靜電致動器製程圖 量測 製程結果 圖9 Parylene材質之梳狀式靜電致動器SEM圖 (a) MEMS 量測 製程結果 (b) (c) 圖10 Parylene材質之梳狀式靜電致動器SEM圖 MEMS 量測 製程結果 (a) (b) 圖11 Parylene材質之梳狀式靜電致動器SEM圖 MEMS 量測 量測方法 圖12 位移之量測系統架構圖 圖13 共振頻率之量測系統架構圖 MEMS 量測 共振頻率量測 利用振動測試可得知共 振頻率，並求得靜電致動器懸掛支撐機構之彈簧係數，其公式為： 其中： 　 為共振頻率 　 為靜電致動器質量 　 為彈簧係數 圖14 不同振動頻率下之振幅 MEMS 量測 共振頻率量測 利用上式K值可求得Parylene實際楊氏係數值(約4.4 GPa)，並代入公式比較其理論值與實際量測值之差異。 圖15 新型靜電致動器位移理論值與實際值 MEMS 結論 成功將Parylene材質運用於梳狀式靜電致動器之懸浮支撐機構中。 在輸入電壓為40 V時，Parylene材質之靜電致動器位移可達50 μm以上，而矽材質之位移則低於5 μm，証明相較於矽材質，Parylene材質之靜電致動器可用較小之驅動力達到相同的位移量，具有省能的效果。 MEMS