调整XY Table 上的Scan Head课件.pptVIP

调整X/Y Table 上的Scan Head位置 调整目的 安装X/Y Table上的Scan Head 后，调整Scan Head和光尺的间距和角度，使其间距为0.5mm，并通过示波器观察，波形达到调整要求. 使用仪器 PWM8(见图1) 示波器(见图2) 11uAss 模块和连接线331692-03(见图3) 图1：PWM8 图2:示波器 图3 连接仪器和设备 连接11uAss 模块和PWM8，如下图： 连接仪器和设备 连接PWM8和机台。 用331692-03 Cable连接X/Y Encoder 和PWM8的INPUT 输入端。 连接仪器和设备 PWM8 与示波器的连接 PWM8的A端连接示波器的CH1,B端连接示波器的CH2. 设定PWM8和示波器 仪器和机台连接完后，打开PWM8和示波器。 PWM8开机后，先按Mode(图7),再按AHPL.MESSEN(图8)后退出； 设定PWM8和示波器 设定PWM8和示波器 按BNC键， 设定PWM8和示波器 再按BNC A, 设定PWM8和示波器 并把BNC A 调到BNC A Ue1;同样按BNC B, 把BNC B调到BNC B Ue2。 设定PWM8和示波器 按[o]键， 设定PWM8和示波器 并调到10o 。 设定PWM8和示波器 示波器的调节 选择CH1，调节Posi