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MEMS陀螺仪介绍 小组成员：李月 国玉鸿 贺 强 贺亚强 霍震 微传感器 | 微执行器 MEMS陀螺仪 功能及用途 MEMS陀螺仪 应用及发展趋势 音叉调谐微 机械陀螺仪介绍 MEMS陀螺仪 工作原理 目录 CONTENTS 1 MEMS陀螺仪功能及用途 惯性平台 惯性稳定平台由于能够隔离载体( 导弹、飞机、战车及舰船)的运动干扰，不断调整平台的姿态和位置的变化，精确保持动态姿态基准。 姿态平衡 由于陀螺仪在工作状态下，保持绝对姿态，所以可以指示飞机飞行时姿态，以保证飞行员掌握以及控制飞机的飞行姿态，保证飞机安全，正常飞行。 电子设备 陀螺仪应用于数码相机、数码摄像机中，则可以实现防抖功能，使拍摄的照片、录像更加清晰、真实。也用于手机定位和手机游戏操控。 MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。 MEMS陀螺仪介绍 MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技