纳米力学探针 - 新金属材料国家重点实验室 - 北京科技大学.pdfVIP

纳米力学探针 一、简介 纳米显微力学探针是一种特殊的压入系统，能够连续记录载荷、位移数据，其实验载荷可小 至微克数量级。能够得到距材料表面几纳米厚的硬度和弹性模量，相当于电子探针的分辨率，是 目前普遍使用的微区力学性能测试手段。它是 80 年代末美国橡树岭国家实验室 Oliver 博士领导的 研究小组首先研制成功的。90 年代初开始商业化生产，很快就被欧美的研究机构普遍采用。我室 于 1993 年引进