纳米制造技术的应用与发展趋势研究.ppt

纳米制造技术的应用与发展趋势 半导体集成电路 我们从cpu制造技术的发展 可以看出纳米制造技术的进 步。从早期的几微米，发展 到几百纳米，再到最近刚上 市的i系列cpu达到14纳米， 一个指尖大小的芯片就有 几亿甚至十几亿个晶体管。 纳米制造技术的应用 纳米制造技术的应用 简单地说，处理器的制造过程大致可以分为沙子原料（石英）、硅锭、晶圆、光刻、蚀刻、离子注入、金属沉积、金