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2017-09-05 发布于上海
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alternative post-processing on a cmos chip to fabricate a planar microelectrode array替代后处理芯片制造一个平面微电极阵列

Sensors 2011, 11, 10940-10957; doi:10.3390/s111110940 OPEN ACCESS sensors ISSN 1424-8220 /journal/sensors Article Alternative Post-Processing on a CMOS Chip to Fabricate a Planar Microelectrode Array Francisco López-Huerta 1,*, Agustín L. Herrera-May 2, Johan J. Estrada-López 3, 4 5 5 6 Carlos Zuñiga-Islas , Blanca Cervantes-Sanchez , Enrique Soto and Blanca S. Soto-Cruz 1 Facultad de Ciencias Físico Matemáticas, Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Av. San Claudio y Río Verde, Col. San Manuel, 72570, Puebla, Puebla, Mexico 2 Centro de Investigación en Micro y Nanotecnología, Universidad Veracruzana, Calzada Ruiz Cortines 455, 94292, Boca del Río, Veracruz, Mexico; E-Mail: leherrera@uv.mx 3 Facultad de Matemáticas, Universidad Autónoma de Yucatán, Anillo Periférico Norte, Tablaje Cat., 13613, Col. Chuburná Hidalgo Inn, Merida, Yucatán, Mexico; E-Mail: johanstrd@ 4 Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica, Calle Luis Enrique Erro 1, 72840, Tonazintla, Puebla, Mexico; E-Mail: czuniga@inaoep.mx 5 Instituto de Fisiología, Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Av. San Claudio 6301, Col. San Manuel, 72570, Puebla, Puebla, México; E-Mails: blanca.cervantes@ (B.C.-S.); esoto24@ (E.S.) 6 Centro de Investigación en Dispositivos Semiconductores, Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Av. 14 Sur y San Claudio, Col. San Manuel, 72570, Puebla, Puebla, Mexico; E-Mail: leriloe@yahoo.it * Author to whom correspondenc