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基于dsp晶片的一维纳米定位控制系统研制developmentofaone
第 11屆 海峽兩岸計量學術研討會2016 兩岸量測與檢測科技學術研討會 A00-0000
2016 年11月 1日 ~3日 臺灣‧中壢 中原大學
基於DSP晶片的一維納米定位控制系統研製
Development of a one-dimensional nano-positioning control system
based on DSP chip
李瑞君* 何园涛 王鹏 宇 范光照
合肥工業大學儀器科學與光電工程學院
E-mail: rj-li@
摘要 accuracy, and can be used on the occasion of
研製了一套以 DSP晶片為主控制器的高精 high-precision positioning.
度一維納米定位控制系統。該系統主要由驅動
Keywords: nanopositioning; DSP; Michelson
平臺、微型邁克爾遜干涉儀、DSP 控制器等三
interferometer; Piezoelectric ceramics driver; BP
個模組組成。其中驅動平臺模組由線性滑軌、 neural network;
超聲波馬達 HR4和驅動器 AB2 組成。超聲波馬
達HR4配合其專用驅動器 AB2利用摩擦力來驅 1. 前言
動側面貼有陶瓷片的線性滑軌,微型邁克爾遜 當前,納米科技、微電子加工、先進製造業、
干涉儀用來感測滑軌的位移值。基於BP神經網 生物醫學等領域均需要大行程(指毫米級)納
路的 PID 控制演算法和邁克爾遜干涉儀的相位 米級定位[1,2] ,用於大面積樣品測量的原子力顯
計算全部由主控制器 DSP晶片完成。實驗結果 微鏡和半導體工業中的光刻機也需要對工作臺
表明,該定位系統行程為20 mm ,定位精度優 在毫米行程上實現納米或亞納米精度的定位控
於10 nm ,重複定位標準差為7 nm 。該定位系 制 。因此,開發毫米行程納米或亞納米精度的
統具有系統架構簡單,定位精度高等優點,可 定位系統已成為相關領域各國科學家競相研究
用于大行程高精度定位應用場合。 的熱點。
關鍵詞 :納米定位;DSP ;邁克爾遜干涉儀; 壓電陶瓷是新型的微位移器件 , 具有結構
壓電陶瓷驅動; BP神經網路; 簡單、體積小、分辨力高、控制簡單、沒有發
[3]
熱問題等優點, 是理想的微位移器件 。使用壓
Abstract 電陶瓷元件實現大行程的途徑是構成超聲波馬
A high-precision one-dimensional 達,壓電陶瓷元件組在共振信號作用下,形成
nano-positioning control system based on DSP 彎曲和伸縮兩種變形模式,兩種運動合成為橢
controller is presented in this paper. The system is 圓形運動軌跡,通過摩擦力驅動平臺,其解析
mainly composed of a driving platform,
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