射频pecvd方法生长含氢非晶碳膜的结构及摩擦学性能.pdfVIP

第2 8卷第12 期 东 北 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) Vol 28 ,No . 12 2 0 0 7 年 12 月 Journal of Nort heastern U niver sity (N at ural Science) Dec . 2 0 0 7 射频 PECVD 方法生长 含氢非晶碳膜的结构及摩擦学性能 李 　明 , 蔺 　增 , 王 　凤 , 巴德纯 ( 东北大学 机械工程与自动化学院 , 辽宁 沈阳　110004) 摘 　　　要 : 利用射频等离子体增强化学气相沉积技术在不锈钢表面制备了含氢非晶碳膜 采用 Raman 光 · 谱 、红外光谱 、X 射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌 ,在栓盘摩擦磨损试验 机上考察了薄膜在不同载荷与滑动速度下的摩擦学性能 结果表明:所制备的含氢非晶碳膜具有典型的类金 · 刚石结构特征 ,薄膜均匀 、致密 ,表面粗糙度小 ;薄膜与不锈钢球对磨时显示出良好的抗磨减摩性能 ;薄膜的抗 磨减摩性能同对磨件表面上形成的转移膜以及摩擦过程中薄膜结构的石墨化相关 · 关 　键 　词 : 射频等离子体增强化学气相沉积 ;含氢非晶碳膜 ;结构 ;摩擦学性能 中图分类号 : TB 79 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : (2007) Structure and Tribological Properties of aC :H Fil ms Deposited by RF PECVD L I M i ng , L I N Zeng , WA N G Feng , B A Dech u n ( School of Mechanical Engineering Automation , Nort heastern University , Shenyang 110004 , China . Correspondent : BA Dechun , Email : dechunba @yahoo . com) Abstract : The hydrogenated amorp hous carbon (aC :H) t hin films were successfully depo sited on st ainless steel subst rate by radio frequency plasma enhanced chemical vapor depo sition ( RF P ECVD) . The micro st ruct ure and morp hology of t he film were investigated by means of Raman spect ro scop y , Xray p hotoelect ron spect ro scop y , infrared spect romet ry and atomic force micro scop y . The friction and wear behavior of t he film sliding against a st ainless steel ball under different loads and at different velocities were examined on a pinondisc tester . It was found t hat t he film p rep ared by