多晶硅来料检验及掺硼计算.ppt精品.pptVIP

原料检验以及多晶硅掺杂计算 一、原料检验 Si3N4 石英坩埚（SiO2） 多晶硅原料 Si3N4 作用 经搅拌喷涂后形成一层隔绝涂层，介于 石英坩埚和硅之间，起到：1）防止液态硅与石英坩埚接触；2）使硅锭与坩埚容易分离 为何选择Si3N4作涂层材料 Si3N4 因为Si3N4具有耐高温、化学稳定性好、耐腐蚀、抗氧化、导热性能好等优点。 另一个重要优点是因为Si3N4不含任何金属元素，对熔融硅具有优异的不反应性。 技术要求 1）α-相Si3N4 ＞90% 2）N含量＞38% Si3N4 3）C含量＜0.2% 4）O含量＜1.5% 5）金属杂质含量＜0.02% 外观、包装 外观：灰白色、无味，粉末（分散、无团聚） 包装：双层密封包装：外层铁通，内层塑料 Si3N4 生产工艺 硅粉直接氮化法(德国H.C.Starck) 1）3Si+2N2 →Si3N4 2）3Si+4NH3 → Si3N4 +6H2 优点：工艺流程简单、成本低、能大规模 生产 缺点：粒径分布较宽、纯度相对较低、β相含量较高 Si3N4 硅亚胺热分解法 （日本UBE） 反应方式：