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- 2018-04-26 发布于四川
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***学院本科毕业论文 (设计)任务书
论文 (设计)题目:等色干涉测薄膜厚度
学
学生姓名 ** * 专业班级 *
号
职
指导教师 ** * 论文(设计)起止时间 *
称
课题类型 指导老师承担的科研课题
课题意义 (课题意义、技术路线、任务与进度要求、主要参考)
薄膜技术是当前材料科技的研究热点,纳米级薄膜迅猛发展,精确、快速地测量
薄膜的厚度至关重要。因此选择一种恰当的方法测量薄膜厚度不可小视。应用等色干
涉原理测量薄膜厚度具有测量结果精度高、测试系统较为简单、对膜面积要求较小、
对薄膜无损坏等优点。等色干涉属于薄膜干涉,是光波叠加引起强度在空间的重新分
布。用白光照射薄膜,获得相应的等色干涉条纹,根据干涉条纹和已知参数,从而计
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