悬臂接触式RF MEMS开关设计.pdfVIP

悬臂接触式RF MEMS 开关的设计 张义恺 北京邮电大学自动化学院，北京 (100876) E-mail：xysr213@ 摘 要：本文研究的金属接触型RF MEMS 开关由悬臂梁，驱动电极，金属触点等部分构成。 基于微波、材料和机械设计因素的考虑，本次设计选取了氮化硅作为悬臂梁的材料，以保证 有材料具有良好的机械特性和化学稳定性。并选择金作为接触金属，是由于金在稳定性和导 电性方面的优势。悬臂梁为PECVD 制作的氮化硅薄膜,聚酰亚胺作为牺牲层,运用等离子体 刻蚀法释放牺牲层。研究了悬梁、电极的制作工艺,并分析了牺牲层的制作和刻蚀工艺对开 关结构的影响，并对开关进行失效分析。 关键词：微机电系统，射频开关，阈值电压，失效 中图分类号：TP211 1．引言 MEMS （Micro Electro Mechanical Systems ，微机电系统）是电子技术与机械、光学等领 域交叉融合并具有战略意义的前沿高技术，是未来的主