SiN薄膜纳米孔芯片制造工艺实验研究_袁志山.pdfVIP

46 5 Vol． 46 No ． 5 第 卷第 期 东南大学学报(自然科学版) 20 16 9 Sept． 20 16 年 月 JOUＲNAL OF SOUT HEAST UNIVEＲSITY (Natural Science Edition) DOI :10 ． 3969 /j ． issn． 100 1 － 0505 ． 20 16 ． 05 ． 0 13 SiN 薄膜纳米孔芯片制造工艺实验研究 1，2 1 1 1 1 袁志山