光电功能薄膜技术（研讨）1序言-材料系知识课件.pptVIP

课程名称：光电功能薄膜技术（研讨）;薄膜技术发展的历史;为什么需要薄膜;现代科学技术的发展，特别是微电子技术的发展，过去需要众多器件组合才能实现的功能，现在仅仅需要少数几个器件或一块集成电路板就可以完成。薄膜技术正是实现器件和系统微型化的最有效的技术手段。;薄膜的种类;反射膜 例如用于民用镜和太阳灶中抛物面太阳能接收器的镀铝膜；用于大型天文仪器和精密光学仪器中的镀膜反射镜；用于各类激光器的高反射率膜（反射率可达99%以上）等等。;4、机械薄膜： （硬质膜、耐蚀膜、润滑膜）;按制备方法分类;薄膜技术在电子学领域中的意义;薄膜技术在光学领域中的意义;E-beam Evaporation Machine;两类薄膜生长方法：薄膜沉积和薄膜外延;薄膜技术在基础研究上的意义;光电功能薄膜技术（研讨）课程的目的;授课内容 ;参考书 1、顾培夫主编，薄膜技术，浙江大学出版社，1990 2???唐晋发，顾培夫主编，薄膜光学与技术，机械工业出版社，1987 3、H. A. Macleod主编, THIN-FILM OPTICAL FILTERS, Institute of Physics Publishing, 2001 4、吴自勤、王兵主编，薄膜生长，科学出版社，2003