清洁生产评价指标体系 - 北京市质量技术监督局.docVIP

清洁生产评价指标体系 集成电路制造业 Cleaner production assessment indicator system Integrated circuits manufacturing industry （标准送审稿） 编制说明 标准编制组 2017年4月  目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc465329479 1 任务来源、起草单位、编制组成员单位与主要起草人 PAGEREF _Toc465329479 \h 1 HYPERLINK \l _Toc465329480 2 集成电路制造业概况 PAGEREF _Toc465329480 \h 1 HYPERLINK \l _Toc465329481 2.1 集成电路制造业生产概况 PAGEREF _Toc465329481 \h 2 HYPERLINK \l _Toc465329482 2.2 集成电路制造业生产工艺 PAGEREF _Toc465329482 \h 4 HYPERLINK \l _Toc465329483 2.3 集成电路制造业能源与水消耗及产排污分析 PAGEREF _Toc465329483 \h 5 HYPERLINK \l _Toc465329484 3 制定标准的必要性和意义 PAGEREF _Toc4653