一、等离子体基本原理.ppt

等离子体应用技术 目录 等离子体基本原理 等离子体的化学行为 等离子体发生技术 介质阻挡放电等离子体技术与应用 电晕和辉光放电等离子体技术与应用 微波放电等离子体技术与应用 等离子体在薄膜制备中的应用 等离子体在高分子化学中的应用 等离子体显示技术 等离子体在隐身技术中的应用 等离子体应用技术进展 第一章 等离子体基本原理 1.1.1 等离子体存在处： 宇宙中90％物质处于等离子体态。由地球表面向外，等离子体是几乎所有可见物质的存在形式，它与众所周知的物质三态也就是气态、液态、固态并列称为物质的第四态,即等离子体态。如大气外侧的电离层、日地空间的太阳风、太阳日冕、太阳内部、星际空间、闪电、极光、星云及星团，毫无例外的都是等离子体。 什么保护了地球：等离子体 北极光 逃离太阳的等离子体 星系：巨大的聚变反应堆 等离子体参数空间 地球上，人造的等离子体也越来越多地出现在我们的周围。 日常生活中：日光灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发生器 典型的工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理 高技术应用：托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率微波器件、离子源、强流束、飞行器鞘套与尾迹 核聚变反应 实现聚变的三种途径 托卡马克装置( JET ) 美国激光聚变装置 美国国家点火（NIF）激光聚变装置 激光聚变电站 神光II、星光II激光聚变装置 1.1.2 等离子体是物质第四态 放电是使气体转变成等离子体的一种常见形式 1.2.2 等离子体的准电中性 在等离子体内部，正、负电荷数几乎相等——准中性 ne ? ni 德拜屏蔽鞘层 等离子体的特征长度：德拜长度 1.2.5 等离子体辐射 激发辐射 hv =En-Em=ΔE 复合辐射 hv =εe+(Ei-Em) εe—复合前自由电子的动能 Ei—电离能 Em—复合后该电子所处的能级 1.3.5 等离子体判据 空间尺度要求 ：等离子体线度远大于德拜长度 时间尺度要求：等离子体碰撞时间、存在时间远大于特征响应时间 等离子体参数：在德拜球中粒子数足够多，具有统计意义 等离子体物理发展简史 19世纪30年代起 放电管中电离气体，现象认识 建立等离子体物理基本理论框架 20世纪50年代起 受控热核聚变 空间技术 等离子体物理成为独立的分支学科 20世纪80年代起 气体放电和电弧技术发展应用 低温等离子体物理发展 1.5.1 等离子体物理研究领域 低温应用等离子体 高温聚变等离子体 空间和天体等离子体 冷等离子体应用 等离子体的化学过程 刻蚀 化学气相沉积（成膜） 等离子体材料处理 表面改性 表面冶金 光源 冷光源（节能） 毫米级厚金刚石片制备研究 特征类金刚石表面制造 等离子体军事及高技术应用 军事应用 等离子体天线、等离子体隐身、等离子体减阻、等离子体鞘套、等离子体诱饵 高技术 大功率微波器件、X射线激光、强流束技术、等离子体推进 热等离子体应用 高温加热 冶金、焊接、切割 材料合成、加工 陶瓷烧结、喷涂、三废处理 光源 强光源 无线电波在电离层的反射 截止层： f = fc = 9 ne1/2  总 结 等离子体科学涵盖了受控热核聚变、低温等离子体物理及应用、国防和高技术应用、天体和空间等离子体物理等分支领域。 等离子体科学在能源、材料、信息、环保、国防、微电子、半导体、航空、航天、冶金、生物医学、造纸、化工、纺织、通讯等领域有广泛的应用。 等离子体研究领域对人类面临的能源、材料、信息、环保等许多全局性问题的解决具有重大意义。 就等离子体本身而言，它具有变成为电中性的强烈倾向，故离子和电子的电荷密度几乎相等，此种情况称为准中性，是带相反电荷粒子间的强电作用的结果。 等离子体中电荷分离仅可能由外加电场或等离子体本身的内能（热能）来维持，可由等离子体动力学温度维持的对电中性的最大偏离估算出来。 一个密度几乎相等，每立方米n0个粒子的电子和单电荷正离子构成的含能等离子体，在半径为r的球形区域内，此体积内的静电能由其所包围的剩余电荷量决定，此球表面的静电位为： Q=eδn，为球内静电荷，其中e为电子电荷，此时球表面的静电位为 被推进净负电荷小球区域的一个电子所得到的能量可由上式的静电位乘以电荷得到： 此能量仅来自与有限的动力学温度T有关的动能 可得到与电中性的相对偏离： 在等离子体中引入电场，经过一定的时间，等离子体中的电子、离子将移动，屏蔽电场——德拜屏蔽 ＋ － 屏蔽层厚度：德拜长度 λD 特征响应时间：τp＝ λ D/vT 1.2.3 等离子体鞘层 静电势满足 P