国家标准GB_半导体用透明石英玻璃管.pdf

666-173-669-192 QUD3C5 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB 9657一 88 。(斤7S-一SS}6 半导体用透 明石英玻璃管 Transparentquartzglasstubesfor semiconductortechnology 1988一06一30发布 1989一03一01实施 国 家 才示 准 局 发 布 中华 人民共和 国国家标准 UDC 666.173 :669.192 半导体用透 明石英玻璃管 GB 9657一 88 Transparentquartzglasstubesfor semiconductortechnology 主题 内容与适用范围 本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则及标 志、包装 、运输和贮存 等。 本标准适用于由天然水晶作原料，应用于半导体工业的透明石英玻璃管 冶金、化学工业用透明石 英玻璃管也可参照本标准 。 弓1用标准 GB3284 石英玻璃化学成分分析方法 GB5949 透明石英玻璃气泡、气线检验方法 3C330 石英玻璃中经基含量试验方法 术语 3.1 气线 石英玻璃中的细长线状梭形气泡。 3.2 沟棱:石英玻璃管或棒的表面，在长度方向存在的凹凸不平的沟槽和凸棱 3.3 色线:石英玻璃管上，带有颜色的线条。 3.4 晶纹 石英玻璃管或棒拉制过程中，在管壁上形成的各种微小不闭合的炸纹。 3.5 生料颗粒:透明石英玻璃管的内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。 3.6 透明颗粒:石英玻璃管中未完全熔化的透明石英质颗粒。 3.7 波纹:气炼透明石英玻璃管的内、外壁圆周呈现的波浪形凹凸不平。 38 色斑:在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。 3.9 气泡群;透明石英玻璃管壁中，由微小气泡(小于标准中气泡的下限尺寸)密集而成的群集泡 3.10 揪痕:排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹 3.11 暗疤:气炼产品壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态(俗称雪花，破皮或梅花)。在高 温熔烧中发橙色亮光。 3.12 炸裂:石英玻璃制品经急冷急热而产生的裂纹或碎裂缺陷 3.13 析晶:透明石英玻璃在高温下发生晶形转变，造成低温下失透。 产品分类 按生产工艺产品分为五类 出 真空常压法 管 ; 阮 真空加 压法管 ; 国家建筑材料工业 局1988一05一25批准 1989一03一01实施 GB 9657一 88 电熔二步法管 气炼二步法管 气炼 管。 5 规格尺寸 5门 电熔管 、二步法 管规格尺寸范 围见表1 表 m n ，