电子级氟化氢.pdf

ICS71.100.20

CCSG86T/CCGA

中国工业气体工业协会团体标准

T/CCGA30006—XXXX

电子级氟化氢

Electronicgradehydrogenfluoride

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国工业气体工业协会发布

T/CCGA30006—XXXX

电子级氟化氢

1范围

本文件规定了电子级氟化氢的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全警

示的要求。

本文件适用于以工业氟化氢为原料经净化制得的电子级氟化氢。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5099钢质无缝气瓶

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T13004钢质无缝气瓶定期检验与评定

GB/T13005气瓶术语

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB/T15382气瓶阀通用技术条件

GB/T16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T26571特种气体储存期规范

GB/T27550气瓶充装站安全技术条件

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定

GB/T34972电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

JT/T617.3危险货物道路运输规则第3部分：品名及运输要求索引

JT/T617.4危险货物道路运输规则第4部分：运输包装使用要求

JT/T617.5危险货物道路运输规则第5部分：托运要求

JT/T617.6危险货物道路运输规则第6部分：装卸条件及作业要求

JT/T617.7危险货物道路运输规则第7部分：运输条件及作业要求

TSG23气瓶安全技术规程

3术语和定义

GB/T13005界定的术语和定义适用于本文件。

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4技术要求

氟化氢的技术指标应符合表1的要求。

表1氟化氢技术指标

项目指标

氟化氢（HF）纯度（摩尔分数）/10-2≥99.999

氧+氩（O+Ar）含量（摩尔分数）/10-6≤2

2

氮（N）含量（摩尔分数）/10-6