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JJF17392019
数字式激光球面干涉仪校准规范
1范围
本规范适用于数字式激光球面干涉仪的校准。
2引用文件
本规范引用了下列文件:
—平面等厚干涉仪校准规范
JJF11002016
/—光学零件的面形偏差
GBT28312009
:光学和光子学光学元件和光学系统的干涉测量第部分:
ISO14999-420154
规定的公差说明和评估(—
ISO10110OticsandhotonicsInterferometricmeasurement
pp
—:
ofoticalelementsandoticalsstemsPart4Interretationandevaluationoftoler-
ppyp
ancessecifiedinISO10110)
p
,;
凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文
,()。
件其最新版本包括所有的修改单适用本规范
3术语和定义
/—、:界定的及以下术语和定义适用于本规范。
GBT28312009ISO14999-42015
3.1面形偏差surfaceformdeviation
被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。
峰谷值()
3.2eak-to-vallePVvalue
py
,。
面形偏差最大值减去最小值简称PV值
值()
3.3PVrrobusteak-to-vallePVrvalue
py
(
面形偏差的项多项式拟合面值加上倍拟合残差面形偏差减去
36ZernikePV3
)。
项多项式拟合面的均方根值
36Zernike
注:多项式定义按:附录标准定义。
ZernikeISO14999-42015B
3.4球面元件数
FFnumberofshericalotics
pp
球面曲率半径与通光口径的比值。
:,
注被测球面元件数应当小于或等于数字式激光球面干涉仪球面镜头数才能实现数字式
F
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