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防护膜组件、曝光原版、曝光装置和防护膜组件的制造方法.pdfVIP

防护膜组件、曝光原版、曝光装置和防护膜组件的制造方法.pdf

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    一种防护膜组件，其具备防护膜组件框、防护膜以及粘着层。粘着层的内壁面和外壁面的至少一者满足下述式(1)。式(1)：([A2s]/[A50s])≤0.97。式(1)中，A2s表示通过飞行时间型二次离子质谱法对粘着层的距表面的深度为第一深度的第一深部进行分析而得的粘着层的主剂成分所含的部分结构的归一化强度。第一深度是通过用氩气团簇离子束即溅射离子枪对表面的600μm见方的区域进行累计2秒照射而形成的。A50s表示通过飞行时间型二次离子质谱法对深度为第二深度的第二深部进行分析而得的粘着层的主剂成分所含

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117916662A

    (43)申请公布日2024.04.19

    (21)申请号202280061304.1(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

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