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原子力显微镜

姓名：董佳婧学号：141120021院系：物理学院

摘要：本文阐述了原子力显微镜的构造、原理及应用，观看了样品

外表形貌，最终对本试验进展了争论。

关键词：原子力显微镜，导电ITO，外表粗糙度

1.引言

在当今的科学技术中，如何观看、测量、分析尺寸小于可见光波长的物体，

是一个重要的争论方向。扫描隧道显微镜(STM)使人们首次能够真正实时地观

看到单个原子在物体外表的排列方式和与外表电子行为有关的物理、化学性质。

STM要求样品外表能够导电，从而使得STM只能直接观看导体和半导体的外表构

造。为了抑制STM的缺乏之处，推出了原子力显微镜(AFM)。AFM是通过探针与

被测样品之间微弱的相互作用力(原子力)来获得物质外表形貌的信息。因此，

AFM除导电样品外，还能够观测非导电样品的外表构造，且不需要用导电薄膜掩

盖,其应用领域将更为宽阔。

2.原子力显微镜构造及工作原理

在原子力显微镜的系统中，可分成三个局部：力检测局部、位置检测局部、

反响系统，如图1所示。

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图1

（1）力检测局部

在原子力显微镜系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。使用

微悬臂来检测原子之间力的变化量。如图2所示，微悬臂通常由一个一般100～

500μm长和大约500nm～5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个锋利

针尖，用来检测样品－针尖间的相互作用力。

图2

（2）位置检测局部

在原子力显微镜系统中，当针尖与样品之间有了作用之后，会使得悬臂摇摆，

所以当激光照耀在微悬臂的末端时，其反射光的位置也会由于悬臂摇摆而有所改

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变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量

记录下并转换成电的信号，以供SPM掌握器作信号处理。聚焦到微悬臂上面的激

光反射到激光位置检测器，通过对落在检测器四个象限的光强进展计算，可以得

到由于外表形貌引起的微悬臂形变量大小，从而得到样品外表的不同信息。

（3）反响系统

在原子力显微镜系统中，将信号经由激光检测器取入之后，在反响系统中会

将此信号当作反响信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷制作的扫

描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持肯定的作用力。

原子力显微镜便是结合以上三个局部来将样品的外表特性呈现出来的：在原

子力显微镜系统中，使用微小悬臂来感测针尖与样品之间的相互作用，这作用力

会使微悬臂摇摆，再利用激光将光照耀在悬臂的末端，当摇摆形成时，会使反射

光的位置转变而造成偏移量，此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信

号给反响系统，以利于系统做适当的调整，最终再将样品的外表特性以影像的方

式给呈现出来。

3.原子力显微镜的工作模式

依据探针与样品之间距离的不同，原子力显微镜有可分为三种工作方式。即：

接触式，非接触式和小扣式。

本试验承受接触模式：样品扫描时，针尖始终同样品“接触”，即针尖-样品

距离在小于零点几个纳米的斥力区域。此模式通常产生稳定、高区分图像。当沿

着样品扫描时，由于外表的凹凸起伏使得针尖-样品距离发生变化，引起它们之

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间作用力的变化，从而使悬臂形变发生转变。当激光束照耀到微悬臂的反面，再

反射到位置灵敏的光电检测器时，检测器不同象限会接收到同悬臂形变量成肯定

的比例关系的激光强度差值。反响回路依据检测器的信号与预置值的差值，不断

调整针尖一样品距离，并且保持针尖一样品作用力不变，就可以得到外表形貌像。

这种测量模式称为恒力模式。当样品外表格外平滑时，可以让针尖一样品距离保

持恒定，这时针尖一样品作用力大小直接反映了外表的凹凸，这种方法称恒高模

式。本试验承受恒力模式。

4.原子力显微镜的操作步骤

（1）依次开启：电脑-掌握机箱-高压电源-激光器。

（2）用粗调旋钮将样品靠近微探针至两者间距1mm。