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微执行器导论

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导论

微执行器是MEMS中重要组成部分，其作用是将能量由非机械的形式转换为机械能的形式。鉴于MEMS的微小化和尺寸效应，微执行器已不是简单的传统机械的缩小化，驱动方法不同于传统机械。可能有多种机制实现某一特定的执行器驱动。例如，可以利用静电、磁力、压电、或热膨胀产生机械运动。此外，还有很多执行器驱动方式：如气体力学、形变记忆合金、热膨胀、相变、电化学反应、能源燃烧、以及运动液体的摩擦阻力。

静电执行器

静电驱动是MEMS微执行器的主要驱动方式，根据物理中的库仑定律和平行板静电力的计算公式，有：

q q r

qq

?F 12

?

两个带点分别为1、 2，间距为 的两个电荷之间产生带点静电力为

?WL

4??r2。

两块正对的长、宽分别为L、W，间距为d的平行极板间的电容C?

?WLU2

d ，垂直于平行板

F??

的静电力为d

2d 。

一种有趣的、具有很好精度的步进直线微机械执行器是被称为“尺蠖”的执行器。其基本构思是：使用一个能弯曲的末端带有微小垂直挡板的金属板，当在金属板和衬底中掩埋的导体两端加电压时，金属板就向下弯曲，并将挡板向前推进一小段距离。电压消失时，由于挡板和绝缘层表面摩擦力不对称，导致一定程度的运动调整，因而产生了金属板净位移。重复这个周期，就能得到连续的、步进的直线运动。

图1“尺蠖”执行器

图2为TI公司研制成功的数字微镜（DigitalMicromirrorDevices）的单个微镜片结构。DMD采用静电力驱动微镜片完成状态转换。

图2数字微镜

静电驱动喷墨打印头首先是由Epson公司为开发商业打印机而提出的。如图3，驱动过程是通过在电极板和压力板上施加一个直流电压，使压力板偏转并充墨。当电压去掉时，压力板转回原位并将液滴从喷嘴推出。由于其功耗较低，小于0.525mW/喷嘴，该器件以被开发用于电子计算机中。

图3静电驱动喷墨打印头

梳状静电驱动器在光开关中经常被运用。梳状静电驱动即由大量的梳齿组成。一个简单的梳状静电驱动结构，上方的梳片是固定的，而下方的梳片是可以自由移动的。静电力F主要是由驱动电压V及梳齿个数n来决定的。静电梳状驱动力与下方梳齿个数成线性关系，若使用相当多的梳齿可以产生较大的静电力。靠这静电力可水平或者竖直推动微镜移动位置，从而达到开或关的效果，如图4所示，即一个梳状驱动器水平方向驱动微镜的MEMS光开关。可动部分的悬臂梁侧壁可用作反射镜，在自然状态下光通过反射镜输出，上下梳齿受压后，静电力驱使可动悬梁沿力的方向移近不可动的悬梁位置，于是光直线通过一输出点，实现开关功能。

图4静电驱动光开关示意图

1988年美国加州伯克利分校最早研制出了静电微电机（图5），虽然该电机由于粘附磨损仅仅旋转了几秒钟，但它实现了MEMS重大突破。

图5静电微电机

图6是Michigan大学研制的静电力驱动的机械滤波器，静电力在微夹子中也是主要的驱动方式，图7和图8分别是PI公司和美国加州大学伯克利分校研制的微夹子。

图6 机械滤波器 图5微夹子

电磁执行器

图8微夹子

任何载流导体在磁场中都要受到洛伦兹力的作用。电磁执行器就是以洛伦兹力为主要驱动力。静电执行器的特点是驱动范围小，而电磁执行器在数毫米内产生作用力，动作幅度大；其缺点是功耗一般较高，而且产生的磁场会对附近的物体产生一些影响。人们基于电磁效应已经开发出电磁电机、微泵、光开关、微镊子等。目前电磁执行器的问题是电磁线圈的加工和磁性材料的生成。

Judy和Muller（1995）成功制造了带有扭杆的执行器(图9)，其中执行器的电镀去能在面外旋转。对于尺寸为430μm×130μm×15μm、带有双扭转臂（400μm×2.2μm×2.2μm）的坡莫合金板，当外加磁场强度Hext≈10kA/m时，相对于衬底可获得90°的偏转和大于3.0nN·m的扭矩。面外器件由于斩波、扫描、光速导向等微光学场合。

图9磁扭杆执行器

用“传统的”制造技术已经将磁式马达做得非常小。利用微机械加工方法制造微型马达方面也进行了各种尝试。Guckel等（1991,1993a，1993b）报道了嘉禾绕磁线圈和LIGA工艺在实现磁微马达方面的应用，其结构的截面图如图10所示。

对于直径为285μm的转子，器件的稳定转速为8000转/分，最高可达33000转/分。马达测试结果表明：旋转5×107后，其特性不会改变。

压电执行器

图10微磁马达

某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力