外延工艺简介(PPT 47页).pdf

诚信忍耐探索热情

HANGZHOUSILANINTEGRATEDCIRCUITCO.,LTDFaithEnduranceExplorationEnthusiasm

外延工艺简介

2024.08.05

By

赵仲镛

杭州士兰集成电路有限公司

杭州经济技术开发东区10号路308号

HangzhouSilanIntegratedCircuitCo.,Ltd

308,No.10Road,EastHETZ,Hangzhou,Zhejiang,China310018

CompanyConfidentia111

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•什么叫外延生长？

•硅外延的根本原理

•外延设备及所用的气体

•在外延中应注意的问题

•外延层中的晶体缺陷

•外延的质量表征因子

•外延层测试设备

•目前国内外延的动态

•从事外延工作人员应具备的根本素质：敬业精神、

一丝不苟的工作态度、质量意识和平安意识

CompanyConfidentia22

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什么叫外延？

外延Epitaxy这个词来源于希腊字epi,意思是“…之上〞。这样选定的词

对外延提供了一个恰当的描写。一个含有硅原子的气体以适当的方式通过衬

底，自反响剂分子释放出的原子在衬底上运动直到它们到达适当的位置，并

成为生长源的一局部，在适当的条件下就得到单一的晶向。所得到的外延