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本发明提供一种测试结构及形成方法、测试方法,其中测试结构包括:衬底;位于所述衬底上相互分立的第一导线和第二导线;位于所述第一导线和所述第二导线上的导电插塞条,所述导电插塞条具有相对的第一端部和第二端部,所述第一端部位于所述第一导线的表面,所述第二端部位于所述第二导线的表面;位于所述导电插塞条上相互分立的第三导线和第四导线,所述第三导线位于所述第一端部的表面,所述第四导线位于所述第二端部的表面;以独立的获取导电插塞条的电阻,进而对相关的工艺制程做出针对性的改善。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118057585A
(43)申请公布日2024.05.21
(21)申请号202211464216.4
(22)申请日2022.11.21
(71)申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限
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