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5.3 压电式传感器 5.3 压电式传感器 5.3.1 压电式传感器的工作原理 5.3.2 等效电路及信号变换电路 5.3.3 压电式加速度传感器 5.3.4 压电式测力传感器 5.3.1 压电式传感器的工作原理 电势型传感器 以压电效应为基础 压电效应可逆 “双向传感器” 正压电效应: 某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力去掉时，它们又重新回到不带电的状态，这种现象就称为正压电效应。 ( 加力 变形 产生电荷) 1.石英晶体的压电效应 如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z、Y、X轴线。晶片在正常情况下呈现电中性。 “纵向压电效应”：沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应； “横向压电效应”：沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应； 沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。 压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 石英晶体的压电效应 石英晶体产生压电效应的微观机理 电偶极矩---连接+Q和–Q两个点电荷的直线称为电偶极子的轴线，从–Q指向+Q的矢径l和电量Q的乘积定义为电偶极子的电矩，也称电偶极矩，通常用矢量P表示。 下图是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“＋”代表硅离子Si4+， “－”代表氧离子O2-。 石英晶体具有压电效应，正是由其内部分子结构决定的。 结论：当晶体受到沿x方向的力Fx 作用时，它在x方向产生正压电效应，而y、z方向不产生压电效应。 同理，晶体在y轴方向受力Fy作用的情况与Fx相似： 当Fy ＞0时，晶体的形变与图（b）相似； 当Fy ＜0时，则与图（c）相似。 由此可见，晶体在y（即机械轴）方向的力 Fy作用下，在x方向产生正压电效应，在y、z方向不产生压电效应。 切片上电荷的符号与受力方向的关系 晶体在z轴方向受力Fz的作用时，因为晶体沿x方向和沿y方向所产生的正应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这就表明，在沿z(即光轴)方向的力Fz 作用下，晶体不产生压电效应。 结 论 ① 当晶片受到x方向的压力作用时，qx只与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关； ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的； ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的； ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ⑤ 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。 电荷量与外力F的关系 （1）当沿电轴方向加作用力Fx时，则在与电轴垂直的平面上产生电荷 2. 压电陶瓷的压电效应 人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。这些晶体中自发形成具有一定电矩的分子集团，产生一定的电场，这种分子集团称为电畴。 极化处理前，各晶粒电畴按任意方向排列，自发极化作用相互抵消，陶瓷内极化强度为零。 陶瓷片极化过程 外加电场E 电畴自发极化方向转向到与E方向一致 陶瓷具有一定极化强度 撤销E 电畴自发极化在一定程度按E方向取向，极化强度≠0（剩余极化强度） 压电陶瓷的正压电效应 压电陶瓷片上加上一个与极化反向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，片内正、负束缚电荷之间距离变小，极化强度也变小。原来吸附的自由电荷，一部分被释放而出现放电现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。 Q —— 电荷量 d33 —— 压电陶瓷的压电系数 F —— 作用力 压电陶瓷的逆压电效应 若在片上加一个与极化方向相同的电场，电场的作用使极化强度增大。陶瓷片内的正、负束缚电荷之间距离也增大，即陶瓷片沿极化方向产生伸长形变。 同理，如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。 3.常见压电材料 压电材料应具备以下几个主要特性： ①转换性能。要求具有较大的压电常数。 ②机械性能。机械强度高、刚度大。 ③电性能。高电阻率和大介电常数。 ④环境适应性。温度和湿度稳定性要好，要求具有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 ⑤时间稳定性。要求压电性能不随时间变化。 常见的压电材料可分为两类： 即压电单晶体和多晶体压电陶瓷 压电单晶体有石英(包括天然石英和人造石英)、水溶性压电晶体(包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵、酒石酸二钾、硫酸锤等)； 多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电