金属氧化物气敏传感器.pdfVIP

第 6卷 　第 5期 ( ) 广州大学学报 自然科学版 Vol. 6　No. 5 　2007年 　10 月 　 ( ) Journal of Guangzhou U n iversity N atu ral Science Edition Oct. 　2007 文章编号 : 167 14229 (2007) 050042 05 金属氧化物气敏传感器 1 2 3 刘湘军 , 谭湘倩 , 浣 　石 ( 1. 湖南大学 化学生物传感与计量学国家重点实验室 , 湖南 长沙 　4 10082; 2. 广州大学 商学院 , 广东 广州 　510006; 3. 广州大学 工程抗震研究中心 , 广东 广州 　510405) 摘 　要 : 根据检测气体的种类 、组成成分和工作原理对气体传感器进行了分类 ,并详细介绍了金属氧化物的气 敏机理和纳米技术对材料气敏性能的影响;着重从物理方法和化学方法两个方面介绍金属氧化物纳米颗粒的 合成 ;探讨了气体传感器的发展方向. 关键词 : 气体传感器 ; 纳米颗粒 ; 金属氧化物 ; 气敏材料 中图分类号 : TP 2 12　　　文献标识码 : A 　　现代工业的发展一方面为人类创造出巨大的财富 ,另 等电阻式金属氧化物为基底材料制成的半导体传感器. 半 一方面却给生态环境带来严重的污染. 工业生产中气体原 导体气体传感器在众多的气体传感器中 ,是发展最快 、应 料和废气的种类和数量随着工业的发展而越来越多. 这些 用最广的一种. 自 1962 年 , 日本学者 Seiyam a等人首先报 气体中 ,有毒性气体和可燃性气体不仅污染环境 ,而且有 道了半导体金属氧化物的气敏特性 [ 3 ] ,并进一步做了理论 产生爆炸 、火灾 、使人中毒的危险. 对这些气体迅速准确地 [ 4 ] ( ) 研究 ,他们首先导入了 “气体检测器 ”Ga s D etector 的 检测将有效地防止此类恶性事件的发生. 因此 ,气敏传感 概念. 之后 ,各国研究者相继在这方面做了大量工作. 器的研究与应用变得越来越重要了. 近年来 ,结合纳米技 术研制成功的金属氧化物传感器 , 以其较高的灵敏度和选 2　金属氧化物半导体的气敏机理 择性 , 良好的稳定性和恢复性 , 以及使用寿命长等优点 ,被 广泛应用于有毒气体 、可燃可爆气体 、工业废气等气体的 金属氧化半导体的气敏特性 ,是在一定温度下半导体 检测中. ( ) 化合物跟所接触的气体 氧化性或还原性 发生反应而导 致电阻值发生变化的现象 [ 2 ] . 金属氧化物半导体气体传 1　气体传感器的分类 感器根据气体与金属氧化物气敏材料作用位置的不同