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微机电系统中的微混合器的研究 摘要：本论文提出对长度为1000,宽度为50、100、150、200四种情况，表面粗糙度为1.6、3.2、6.4、12.5四种情况，不同速度（0.5、5、50）对流动的影响，对速度分布/压力分布进行分析，总结出粗糙度对其的影响。本文对速度驱动流下微通道的不同组分别进行了数值模拟[1-7]。结果表明，当入口速度一定时，随着宽度的增加，粗糙度对速度、压力的影响就越不明显；当宽度一定时，随着粗糙度的增大，对速度、压力的影响也会变大；当粗糙度一定时，随着宽度增大，速度、压力的变化就越不明显。 关键词：微混合器 微通道 粗糙度影响 数字模拟 Abstract:This paper analyzed the impact on the flow by 4 factors in the different situations as follow: length (100), width (50, 100, 150, 200), coarseness of the surface (1.6, 3.2, 6.4, 12.5), and the speed (0.5 mm/s, 5 mm/s, 50 mm/s); analyzed the speed /pressure distribution and summarized the impact of coarseness on it. The paper made a numerical simulation for the different groups of micro-channels in the way of flow drived-by-speed[1-7]. It was not significant of the impact on the pressure and velocity of the fluid with the width increases for the roughness of speed as the velocity of the inlet doesn’t change. As a certain width, the impact on the pressure will become larger with the increasing roughness of speed; As a certain roughness, the impact on the pressure and velocity changes less with the increased width. Keywords： micro-mixer; micro-channel; roughness effect; numerical simulation 第一章 绪论 1.1 研究的动机与目的 （1）熟悉微混合器的基本原理，参考文献[1]，运用流体力学知识对其微通道中流体运动进行数值模拟；（2）熟悉运用Gambit软件以及Fluent软件，参考文献[2]；（3）通过对其运动性能的数值模拟，类似于文献[3，4]，找出粗糙度的大小对不同宽度及不同速度驱动情况下的微通道中流体运动的速度、压力分布的影响。 1.2 研究背景 微机电系统(MEMS)在研究领域已经有很长历史了，但一直没有真正进入大规模产业化阶段。而现在将硅芯片和微机械结构结合在一起的光学元件为MEMS带来新的 商业机会。MEMS热了起来，各种新起步的MEMS公司开始吸引大量的风险资金。一 些在此领域已经发展了数年的公司宣称自己开始得到回报，甚至已经赢利。但业内人士认为MEMS元件仅仅是刚开始从实验室走向实用，对许多半导体公司来说， MEMS业务最终能否取得成功的关键在于他们如何充分利用在IC方面获得的设计、 制造和市场经验。微机电系统(MEMS)正逐渐进入消费品、工业、医药、汽车及计算机应用市场。而且，我们不能忽视它们在仪器、军事和科研行业的稳步进展。显而易见，微机电系统的繁荣时代已经到来。 微米到毫米级的微混合器是一种利用现代微制造技术在硅晶片或薄塑料片上制作成百上千个微通道或者微喷嘴，使流体分成数千股细微流束并迅速混合的微型流体混合机械。它可以在极短时间内实现不同流体的混合。这些微混合器一般来说都是平面结构。 微混合技术广泛应用于化学合成、乳状液制备以及生化分析检测等。随着微通道内单元操作与化学研究的深入，可以预见，微混合技术必将获得更为广阔的发展空间。微混合技术可实现流体的均匀、快速混合，具有常规混合设备不可比拟的优势，因而在化学合成、乳状液制备、高能量筛选以及生化领域有很大的应用前景。在微混合器结构设计方面，特别是微通道和微喷嘴设计的多样性，会有各