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图书分类号 :TG409
U.D.C :621.791
工学硕士学位论文
光纤激光键合过程中的界面反应及对准研究
硕 士 研究生:阎勃晗
导 师:王春青 教授
申请学位级别:工学硕士
学 科、专 业:材料加工工程
所 在 单 位:材料科学与工程学院
答 辩 日 期:2006 年 6 月
授予学位单位:哈尔滨工业大学
Classified Index :TG409
U.D.C :621.791
Dissertation for the Master Degree in Engineering
INTERFACIAL REACTIONS AND
ALIGNMENT FOR FIBER BONDING BY
LASER SOLDERING
Candidate: Yan Bohan
Supervisor: Prof. Wang Chunqing
Academic Degree Applied for: Master of Engineering
Specialty: Materials Processing Engineering
Affiliation: School of Materials Sci. Eng.
Date of Oral Defense: June, 2006
University: Harbin Institute of Technology
哈尔滨工业大学工学硕士学位论文
摘 要
光电子封装中,在激光二极管已预先定位的前提下,光纤的精确定位与
键合对于提高光电子器件的耦合效率至关重要,为此有必要对键合过程中影
响光纤对准的因素进行分析。同时,激光钎焊过程中焊点的界面反应不同于
传统的整体加热方法,通过研究界面反应可以有效地控制界面金属间化合物
的生长,从而改善焊点的性能。
本文对比了激光钎焊条件下AuSn 及InSn 两种钎料分别与Au/Ti 及Au/Ni
两种镀层形成的焊点界面微观组织,分析了不同钎料与镀层的界面反应机理。
结果表明界面微观组织的种类、形态、数量、分布等与激光输入能量密切相
关。
进一步考察了光纤键合过程中AuSn 钎料与Au/Ni/Cu ,Au/Cu 两种焊盘
形成的焊点界面微观组织,并分别研究了 AuSn-Au/Ni,
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