FeCu纳米多层薄膜中内应力对其力学性能的影响.pdfVIP

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2017-09-16 发布于重庆
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FeCu纳米多层薄膜中内应力对其力学性能的影响.pdf

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201104 ( ) 47(2) Journal of Beijing Normal University ( Natural Science) 149 Fe / Cu * 艾利娟祝江平吴晓玲郑瑞廷程国安 ( , , 100 75, ) Fe/ Cu , ( SEM) Fe/ Cu . Fe/ Cu , , , T = 10 9100 MPa, 123 GPa. T , . , . Fe/ Cu ; ; ; 90 120 mm. Fe Cu 004 015 nms- 1, : [ 12] , Fe( 2 6 V 50 mA) , Cu( 421 V 50 mA) . . , 10 min , Fe Cu 5 min . , Fe/ Cu , Si [ 35] , . ( 1 ) , . Fe/ Cu , Fe, Cu, , FeCu 4 nm . Fe/ Cu . 10~ 0. Fe/ Cu Fe Cu , [ 67] , . , [ 6] . Fe/ Cu , Fe/ Cu , . 1 76 mm Fe( 99999% ) 507 mm Cu ( 9995%) , 05 mm ( 100) , 20 mm 10 mm . 5 10- 5 Pa, 10 Pa( 1 Si Fe/ Cu 9999% ) ; Fe Cu * 973 ( 2010CB 32905) ; ( 10 124) : 150 ( ) 47 Fe/ Cu BGS634 1 , . ( d) , , Si ( e) , E 131GPa, 02 [ ] . . , M icro ( stranskikrastanov mode or volmerw ebermode) [ 9] Materials Ltd Nano T est , . , 0 mN. JSM 4 00 SEM , FESEM Fe/ Cu . , 1 .